三井化学EMSが営業開始します

三井化学株式会社（本社：東京都中央区、代表取締役社長：橋本修、以下、三井化学）の関係会社である三井化学EMS株式会社（以下、三井化学EMS）が、本年7月1日に設立、営業を開始しましたのでお知らせします。

旭化成株式会社よりペリクル事業を引き継ぎ誕生した三井化学EMSは、液晶パネルの露光工程で使用するFPDペリクルのNo.1プレイヤーです。半導体露光工程に使用するDUVペリクルにおいても、先端領域で多く使われる液浸ArF向けを中心に、市場で高い評価を受けています。

一方、三井化学は、DUVペリクルの先端品市場におけるリーディングカンパニーとして、また、半導体業界の最先端技術であるEUV露光に用いられるEUVペリクルの事業化を果たしたトップランナーとして、ペリクル市場において高いプレゼンスを獲得してきました。

三井化学EMSの設立により、今後さらに三井化学グループのペリクル事業を発展させ、新製品の開発や最先端の技術向上を通じて、世界No.1の総合ペリクルメーカーを目指してまいります。

ペリクルは、半導体や液晶パネルの露光工程において、微細パターンが描かれたフォトマスクに塵が付着しシリコンウェハーやパネル基盤に結像することを防ぐために、フォトマスクのカバーとして使用される保護膜です。三井化学グループで取り扱うペリクルは、以下の通りです。

■ご参考：2022年5月27日リリース「三井化学、旭化成ペリクル事業を取得」

https://jp.mitsuichemicals.com/jp/release/2022/2022_0527_02.htm

以上