三井ペリクル™

透過率99％以上。原料の前処理とスピンコート技術の組み合わせで、透過率の均一性を確保しています。

厳選した材料により、光劣化による異物化と昇華成分による異物化がありません。また、クラス１のクリーンルーム内で、クリーンロボットシステムを用いることで、高品質な製品を安定して製造しています。

露光光に応じた新素材開発を行い、長寿命を達成しています。