モノシラン

モノシラン

概要

高純度特殊ガスの分野で業界をリードする三井化学は、豊富な合成・分析の技術経験を生かし、より高品位の特殊ガスを提供することで、電子デバイスの進化を支えます。

モノシランは、半導体素子、液晶素子、太陽電池、コピー機用ドラムなどの各種電子デバイスの製造プロセスにおいて、シリコン膜、シリコン酸化膜形成用のCVDガスとして使用されています。