ナノインプリント技術国際会議にてフッ素系材料「FROMP™」の開発を発表

2014年10月22日
三井化学株式会社

三井化学株式会社（社長：淡輪敏）は、10月22日（水）から24日（金）にかけて開催される、第13回ナノインプリント・ナノプリント技術国際会議にて、超高精細なナノインプリント^※を実現する材料「FROMP™」の開発について発表いたします。

発表日時	2014年10月23日（木）16:00－
場所	ANAクラウンプラザホテル京都（京都府京都市中京区）
会議名	第13回ナノインプリント・ナノプリント技術国際会議（略称 NNT2014）
発表内容	ナノインプリント材料に適したフッ素系開発材料FROMP™を紹介します
特徴	・優れた透明性、耐光性 : UV硬化型の材料に用いることが可能になります・易離形性 : 様々な材料からの離形が容易で、幅広い材料の型に用いることができます・硬化時の収縮なし : マザーモールドのパターンを、正確にレプリカモールドへ転写します・ L&S（ライン&スペース）40nm : パターン精度が保てるサイズで、超高精細を達成

（図1）FROMP™を用いたナノインプリント
（フィルムの中心部分）

（図2）ナノインプリント部分の拡大図
（モールドに刻まれたラインの太さ、間隔は約40nm）

FROMP™は、当社の触媒技術を駆使し、ナノインプリントのレプリカモールドに最適な仕様となるように分子構造を設計しています。
今後も、更なる高機能・高付加価値製品を開発し、皆様にご提案してまいります。

以上

三井化学株式会社　IR・広報部	TEL：03－6253－2100