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三フッ化窒素

三フッ化窒素

進化する電子デバイスプロセスを支える高純度特殊ガス


主な用途

半導体・液晶製造装置用クリーニング剤、ドライエッチング剤

特性分類

概要

半導体素子、液晶素子、太陽電池などの電子デバイス製造に、高純度特殊ガスは不可欠な原料です。この分野で業界をリードする三井化学は、豊富な合成・分析の技術経験を生かし、より高品位の特殊ガスを提供することで、電子デバイスの進化を支えます。三フッ化窒素は、下関に製造拠点を有し、全世界に拡がる販売拠点を活用したグローバル化を推進しています。

クリーン性

高性能なドライクリーニングガスとして、半導体・液晶素子の製造装置の内部を、常に清浄に保つために役立っています。

半導体・液晶製造装置用クリーニング剤、ドライエッチング剤

エッチング/クリーニング例

エッチング/クリーニング例

(例)

容器 360L、430L、470L、 各種大型容器対応が可能です。
容器 お客様のニーズに合わせて カスタマイズいたします。

製品に関するお問い合わせ

半導体・光学材料事業部
TEL 03-6880-7465
FAX 03-6880-7571