日本語 English

半導体関連材料

三井化学は、世界トップクラスシェアのペリクルやウェハ表面保護テープをはじめ、半導体製造を支える幅広い材料を展開しています。前工程から後工程、実装、基板、組立まで、各プロセスに最適な材料を提供し、半導体の高性能化・高信頼性化を支えています。

また、有機合成・高分子設計・高純度化・粘接着技術などのコア技術を展開し、AI半導体や先端パッケージ向けのソリューションを提供しています。お客様との共創のもと、材料開発から評価・解析まで一貫した技術力で、次世代デバイスの進化を支えています。

三井化学の半導体関連材料

前工程

半導体製造の前工程において、成膜、露光、CMP、洗浄などの主要工程向けに、半導体材料・化学材料・工程用材料を幅広く提供しております。

半導体前工程(成膜・露光・CMP・洗浄)向け材料および関連製品
半導体前工程(成膜・露光・CMP・洗浄)向け材料および関連製品

後工程・実装

半導体製造の後工程では、ウェハ研削、ダイシング、ボンディング、モールディングに加え、半導体パッケージ基板の製造工程、樹脂基板の露光・積層工程、セラミックコンデンサー(MLCC)の製造工程、デバイス組立工程向けに、多様な実装材料を提供しております。

半導体後工程におけるウエハ研削、ダイシング、ボンディング、モールディング、パッケージ基板製造向け実装材料
半導体後工程におけるウエハ研削、ダイシング、ボンディング、モールディング、パッケージ基板製造向け実装材料

製品一覧

前工程

シランガス

低温・高速成膜プロセス用シリコン膜形成用CVDガス

シランガス

アルキルアルミニウム (日本アルキルアルミ(株))

半導体の薄膜形成に使用される有機金属原料

アルキルアルミニウム

ミレックス®、フェノール群 (本州化学工業(株))

フェノール誘導体から構成される半導体フォトレジスト原料

ミレックス™、フェノール群(本州化学工業(株))

三井ペリクル™

最適膜設計により高透過率・長寿命を実現し、歩留まりと生産性向上に貢献するフォトマスク用防塵カバー

三井ペリクル™

シンテックス®nano (エム・エーライフマテリアルズ(株))

CMPスラリーや電子部品用ペーストの高精密ろ過を実現する不織布材料

シンテックス®nano

フォルティモ®  タケネート®

耐薬品性、長寿命のCMP研磨パッド用ポリウレタン樹脂

フォルティモ®  タケネート®

アルキルアントラキノン (山本化成(株))

半導体洗浄で利用される、過酸化水素の製造触媒

アルキルアントラキノン

後工程・実装

ピバール™ ※開発品

耐熱性に優れたウェハサポートシステム向けの仮固定材料

ピバール™ ※開発品

イクロステープ™  (三井化学ICTマテリア(株))

バックグラインド工程のウェハ表面の保護テープ

イクロステープ™  ( 三井化学ICTマテリア(株))

イクロステープ™  (三井化学ICTマテリア(株))

ダイシング工程におけるチップを保持するためのテープ

イクロステープ™  ( 三井化学ICTマテリア(株))

Paltref™ ※開発品

高耐熱+薄膜由来の高熱伝達性により300℃を超えるプロセスに適用可能なボンディング用フッ素フリー高耐熱離型フィルム

Paltref™ ※開発品

接合材 ※開発品

HBM積層やチップレット実装をはじめとする先端半導体パッケージ向けに、Cu-Cuハイブリッドボンディングにおける低温・高精度接合を実現する絶縁接着材料

接合材 ※開発品

光電融合向け材料 ※開発品

電気ICと光デバイスを同一パッケージ内に実装するための、光配線用ポリマー光導波路材と光接続用透明接着剤

光電融合パッケージ向け材料 ※開発品

イクロステープ™ (三井化学ICTマテリア(株))

半導体モールド工程における仮固定用ゼロストレス剥離テープ

熱剥離粘着テープ (三井化学ICTマテリア(株))

ギガフリーク® ※開発品

高周波基板材料や絶縁フィルム向けの低誘電樹脂材料

ギガフリーク™ ※開発品

特殊ビスフェノール (本州化学工業(株))

高速通信基板向け低誘電・低損失特性を実現する樹脂モノマー

ギガフリーク™ ※開発品

三井ペリクル™

最適膜設計により高透過率・長寿命を実現し、歩留まりと生産性向上に貢献するフォトマスク用防塵カバー

三井ペリクル™

オピュラン® (三井化学ICTマテリア(株))

耐熱性・剥離性に優れるFPC、PCB基板積層用の工程フィルム

オピュラン™ (三井化学ICTマテリア(株))

シンテックス®nano (エム・エーライフマテリアルズ(株))

セラミックス(MLCC)スラリー等の高精密ろかを実現する不織布材料

シンテックス®nano

SP-PET™ (三井化学ICTマテリア(株))

セラミックシート(MLCC用)成形のシリコーンコート離型フィルム

SP-PET™ (三井化学ICTマテリア(株))

三井マスキングテープ™ (三井化学ICTマテリア(株))

環境対応水系粘着剤を使用した、エレクトロニクス部材の表面保護テープ

三井マスキングテープ™ (三井化学ICTマテリア(株))

製品に関するお問い合わせ

ICTソリューション事業本部企画管理部